硅酸根分析儀一般由取樣及預處理、鉬藍比色測定和操作控制三部分組成。待測工業用水經使用和預處理后成為符合硅儀要求的樣水。本部分屬于采樣和預處理部分；從顯色、比色測量到樣水的顯示輸出，這是比色測量部分；操作控制部分控制整個系統的開關和電磁閥的順序動作。
       在酸性溶液中，水中的硅與鉬酸鹽反應生成鉬酸鹽黃，再與還原劑作用生成鉬酸鹽藍，使溶液呈藍色。藍色的深淺還與試劑水中的硅含量有關，因此待測樣水中的硅含量可以采用光電比色法或分光光度法測定。硅酸鹽分析儀根據被測元素的不同，鉬藍法有硅鉬藍法和磷鉬藍法。硅鉬藍法用于測定水中的硅含量。磷鉬藍法用于測定水中磷的含量。硅鉬藍法的分析過程一般可分為三個階段，即顯色、掩蔽劑添加和還原。
1、在加有硫酸的酸性溶液中發生顯色反應，使水中的硅變成可溶性原硅酸鹽H4SiO4，然后在弱酸性溶液中與鉬酸鹽反應生成黃色的硅鉬酸雜多酸，稱為雜多酸鉬酸硅黃，分子式為H4SiMo12O40。
2、使用掩蔽劑時，鐵、磷、鉬酸鹽在水中發生顯色反應，也可形成黃色絡合物。當加入還原劑時，它們會與硅鉬黃一起被還原成鉬藍，從而干擾硅的測定。為此，在硅鉬黃還原前加入掩蔽劑（如酒石酸、草酸），使干擾離子與掩蔽劑形成無色穩定的絡合物，防止干擾分析。
3、在硅酸根分析儀中還原劑的作用下，被還原的硅鉬黃會被還原成藍色的硅鉬雜多酸，稱為硅鉬藍，除H2SO4和硅在水中形成的可溶性原硅酸外，硅鉬藍法所用的鉬酸鹽包括鉬酸銨和鉬酸鈉；酒石酸和草酸用作掩蔽劑；除H2SO4和硅在水中形成的可溶性正硅酸外，硅鉬藍法所用的鉬酸鹽有鉬酸銨和鉬酸鈉；酒石酸和草酸作為掩蔽劑；除1-氨基-2-萘酚-4-磺酸作為還原劑外，還有有機還原劑叫羅多爾和青霉素。